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単方バルブ A-MSV-1 |
4ポート切替バルブ A-MSV-4 |
6ポート切替バルブ A-MSV-6 |
各種切替弁 |
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| ●セット内容 |
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型 番 |
構 成 | 数 量 | 備 考 | |
| PA-125-0 | ・リニア駆動式真空ポンプ ・吸着ホース(φ6/4 ウレタン、φ4/2 シリコン 各１本) ・接続カプラ、変換継手（異径用） |
1 一式 一式 |
ポンプとホースのみのセット | |
| PA-125-1 | ・リニア駆動式真空ポンプ ・切替弁：単方ON/OFFバルブ ・吸着ホース(φ6/4 ウレタン、φ4/2 シリコン 各１本) ・接続カプラ、変換継手（異径用） |
1 1 一式 一式 |
2インチチャック対応 （ON/OFFのみ） |
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| PA-125-4 | ・リニア駆動式真空ポンプ ・切替弁：4方ON/OFFバルブ ・吸着ホース(φ6/4 ウレタン、φ4/2 シリコン 各１本) ・接続カプラ、変換継手（異径用） |
1 1 一式 一式 |
3インチチャック対応 （3系統吸着ポート切替） |
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| PA-125-6 | ・リニア駆動式真空ポンプ ・切替弁：6方ON/OFFバルブ ・吸着ホース(φ6/4 ウレタン、φ4/2 シリコン 各１本) ・接続カプラ、変換継手（異径用） |
1 1 一式 一式 |
4インチチャック対応 （5系統吸着ポート切替） |
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セット価格は最適ポンプ選定の都合等により変動いたしますので、お手数ですがお問い合わせください |
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| ●仕 様 |
型番 |
構成 | 備考 | |
| 到達真空度 | -250mmHg(-33kPa） |
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| 真空排気量 | 6 L/min |
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| 分岐ポート数 ※注1 | 4方切替弁：3 6方切替弁：5 |
1ポートはリリーフ弁 として使用します。 |
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注1）必要となる分岐数は対応するウェハチャックのサイズや吸着穴の数、構造によって異なります。 |
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写真は代表例です（日東工器製）