ESSTech　マニュアルプローバ Manual Prober

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マニュアルプローバー

標準品として出荷実績のある以下をご紹介いたします。
シンプル化と機能優先が全製品の基本コンセプトです。

●プローブシステム

小型プローバー
	SP-0
	設置場所を選ばずに針を立てることのできる最もシンプルなプローバーユニットです。（試料サイズ：2～4インチ）
	SP-1
	ON/OFFマグネットを利用し，自由に配置の変更ができるように配慮したプローバーセットです。（試料サイズ：2～6インチ）
	SP-2
	軽量・省スペースを志向したプローブステーションです。豊富な対応実績により柔軟なカスタマイズが可能です。（試料サイズ：3～6インチ）
	SP-3
	小型軽量かつ大型試料にも対応できることを主眼に設計されました。（試料サイズ：3～10インチ）

大型システムプローバー
	MP-01
	レトロタイプの汎用プローブステーションです。（試料サイズ：4～１2インチ）

●マニュアルポジショナー

	マニュアルポジショナー XYZ-300ML-Mg/MR-Mg
	米国Quater-research社の小型ポジショナーです。微動範囲：7.5mm
（試作中）	マニュアルポジショナー XYZ80-L/R
	簡易式、超小型。現在試作中です。
	マニュアルポジショナー XYZ100-EL/ER
	コストパフォーマンスを最も重視した汎用のマニュアルポジショナーです。微動範囲：12 (±6)mm
	マニュアルポジショナー XYZ150-EL/ER
	独自の直動ガイド機構により、高精度な位置決めが可能です。微動範囲：12 (±6)mm
	マニュアルポジショナー XYZ160-L/R
	最上位機としてメカ精度を追求しました。微動範囲：12 (±6)mm

●その他　付属品

	同軸アーム
	微小電流／電圧測定や高電圧／高周波測定用針先を交換できるリーズナブルな同軸プローブです。
	オープンアーム
	一般のDC測定に最も好適な標準ポジショナ用プローブアームです。
	ポジショナー用各種スペーサ
	プローブヘッドの取付位置を調整できるスペーサ群です。様々な試料位置に対し柔軟な対応が可能となります。
	ディバイドプローブ
	同軸プローブとオープンプローブを組み合わせ、 DC/RFの電力注入を手軽に行うための手法です。
	ケルビンプローブ
	微細電極に同時に２本の針立てを行うためのセットです。針材やピッチを変え最適な条件で4線式測定を行えます
	プローブニードル
	プローブアームの先に取り付ける針です。タングステン、ベリリウム銅、金の代表３種をはじめ各種ご用意しております。
	変換コネクタ、ケーブル
	プローバと計測器を接続する特殊なコネクタやケーブル、および通電金具類をご用意しています。
	ホットチャック
	VC型は薄膜ヒータにより迅速で面均一性のよい加熱制御が可能です。HCは汎用の簡易型です。
	加吸熱チャック
	低温から高温まで迅速な加熱／冷却の連続制御が可能です。
	板金カバー、シールドカバー
	プローブシステム収納用の各種筐体です。ご用途に適した各種実績品がございます。

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