ESSTech 小型プローバ SP-0 Prober

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小型プローバー　SP-0型

●概要

各社の顕微鏡（実体、金属・生物）の試料台へ直接搭載できるミニサイズのプローバーです。
試料台やポジショナー、微動ステージの組合せで各種プロービングに幅広く対応できます。

実施例

SP-0-VH60L、XYZ100-EL +AS-C5 +XYZ100-ER + AS-C5 & USB Scope	SP-0-2Ha-XY CCTV-Camera & Flex- Standbase	SP-0-2La-SXY、XYZ100-ER/EL AS-C5×2


SP-0-2Ha-SXY、XYZ150-ER +AS-C1 XYZ100-ER + AS-P1 XYZ100-EL + AS-P2	SP-0-VH60L XYZ100-ER + AS-C1 +PP-1R XYZ100-EL + AS-P1 + A-GB	SP-0-2Ha-XYZ、XYZ100-ER/EL AS-P4、AS-P1、PP-1R

SP-0-2La-XYZ XYZ100-ER + AS-P4 + S-TH XYZ100-EL + AS-P1 + S-TH		SP-0-TC-2La-XY XYZ100-ER + AS-C4 + S-TH + A-GB

●仕様

項　　目	構　　成	仕　様	備　考
1.試料台	真空吸着型チャック	・試料台寸法　　　：2in/3in ・吸着穴数　　　　　：1(2in) / 3(3in) ・材質（標準）　　　：SUS研削　　　　（通電型）　：銅合金（金鍍金）・通電方式（標準）：（対地絶縁のみ）　　　　（通電型）　：SMA（J）	ウェハ以外の試料台も取付可。（バイス型など）
2. プローブベース	搭載用ベース	幅120×奥100 (mm)	着磁性研削平面板（Ni防錆処理）
3. 中継端子パネル	中継端子パネル	(BNC/BNC絶縁レセ)×左右各2、計4
●本体寸法、重量	( 標準型) ：幅384×奥120×高84 (mm) 、2.6kg　　※SP-0-2Hs ( ロープロファイル型) ：幅384×奥120×高40 (mm) 、2.4kg 　※SP-0-2Ls

●標準型（基本形）

2"非通電標準型（SP-0-2Hs）	2"通電標準型（SP-0-2Ha）	3"非通電標準型（SP-0-3Hs）	3"通電標準型（SP-0-3Ha）

●標準型（XY、XYZ増設）

2"非通電XY （SP-0-2Hs-XY）	2"通電XY （SP-0-2Ha-XY）	2"非通電XYZ （SP-0-2Hs-XYZ）	2"通電XYZ （SP-0-2Ha-XYZ）	3"非通電XY増設型（SP-0-3Hs-XY）	3"通電XY増設型（SP-0-3Ha-XY）

●標準型（長作動XY増設ほか）

2"非通電長作動XY （SP-0-2Hs-SXY）	2"通電長作動XY （SP-0-2Ha-SXY）	3"非通電長作動XY増設型（SP-0-3Hs-SXY）	3"通電長作動XY増設型（SP-0-3Ha-SXY）	HC型ホットチャック搭載 (加熱制御）

●ロープロファイル型（基本形）

2"非通電型（SP-0-2Ls）	2"通電型（SP-0-2La）	3"非通電型（SP-0-3Ls）	3"通電型（SP-0-3La）

●ロープロファイル型（XY、XYZ増設）
				（準備中）	（準備中）
2"非通電XY （SP-0-2Ls-XY）	2"通電XY （SP-0-2La-XY）	2"非通電XYZ （SP-0-2Ls-XYZ）	2"通電XYZ （SP-0-2La-XYZ）	3"非通電XY増設型（SP-0-3Ls-XY）	3"非通電XY増設型（SP-0-3Ls-XY）

●ロープロファイル（特型）

HC型ホットチャック搭載 (加熱制御）	SP-0-VH60L 60mmバイス搭載（透過型）	TC-1a/TC-2a型TECチャック搭載 (加吸熱制御）		超薄型透過チャック搭載 (生物・金属顕微鏡用）

改良のため、実機外観は上記写真と若干異なる場合がございます。予め御了承ください。

●オプション（増設）

●通電対応　a

通電タイプは、二重絶縁され金メッキが施されます。＜型式＞　ｓ：試料台部非通電タイプ　　ex. : "SP-0-2Ls" 　　　（SUS材）　a：試料台部通電タイプ　　ex. : "SP-0-3La" 　　　（銅合金）
	通電タイプ　2インチ	通電タイプ　3インチ