ESSTech マニュアルポジショナー XYZ150-E Manual Positioner

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マニュアルポジショナー　XYZ150-E型
(XYZ150-EL／XYZ150-ER)


XYZ150-ER型　標準本体	XYZ150-ER　+ AS-P1	XYZ150-ER + AS-C1


XYZ150-ER/EL-SS型　標準本体	XYZ150-E + AS-C1 + AS-P1　+ A-GB ディバイディングの実施例	XYZ150-ER/EL型超高分解能ステージへのツイン搭載例

●概　要 (Overview)

XYZ100-E型の上位機種として、設計されております。
独自の摺動機構による高精度な位置決めが可能です。

●仕　様 (Sspecifications)

項　　目					備　　考
型　式	XYZ150-ER XYZ150-EL	XYZ150-ER-F XYZ150-EL-F	XYZ150-ER-FP XYZ150-EL-FP	XYZ150-ER-SS XYZ150-EL-SS	水平ノブ位置：右 ※最下ノブ側より見て水平ノブ位置：左
マイクロメータ	標準	ファインピッチ	スーパーファインピッチ	精密ネジ	※ミツトヨ純正品（-SSタイプを除く）
微動範囲	12(±6)mm		6(±3)mm	12(±6)mm	-----
分解能	(0.01mm)	(0.005mm)	(0.002mm)	P=0.25mm	※マイクロメータ最小読み（-SSタイプを除く）
高さ寸法	(53.4mm)				-----
重量	約350g				※標準マグネット台含む
固定用ベース（注1)	30mm x 60mm、1.6kgf				標準型（異方性フェライト磁石）
	30mm x 60mm、3.6kgf				着磁強化型（Nd-Fe磁石）※-NMg
	30mm x 60mm、2.1kgf				ON/OFF型（Nd-Fe磁石）※-OMg
	（注2）				真空吸着型　※-Vac
価　格	（オープン）誠にお手数ですがお問い合わせください。
補　足	（注1）ベース部分は交換が可能です。　（注2）別途、真空排気系が必要となります。　 ※性能改善のため、外観、設計仕様を修正する場合がございます。予めご了承ください。

●外形寸法図 (Dimension drawing)

●オプション (Optional parts)

マニュアルポジショナー用のプローブセットです。
オープンタイプ、同軸タイプ、ディバイドタイプがございます。

オープン型プローブヘッドを取付ける標準構成です。

XYZ150-ER+AS-P1

RFやシールドが必要なアプリケーションの場合に
ご利用いただけます。

XYZ150-EL+AS-C1

シングルエンドでの高周波／パルスの印加が手軽に行えます。

構成例

電極パッドに同時に２本の針立てを行うためのセットです。

●マグネット(固定ベース）

［標準］　標準装備の異方性フェライト磁石です。　保持力：1.6kgf
[強力タイプ]　型式：-NMｇ　Nd磁石を用いています。　保持力：3.6kgf 　型式例：XYZ150-EL-NMｇ	XYZ150-EL-NMg
[ON/OFFタイプ]　型式：-OMｇ　薄型のON/OFF式マグネットです。　保持力：2.1kgf 　型式例：XYZ150-EL-F-OMｇ	XYZ150-EL-OMg
[真空吸着タイプ]　型式：-Vac 　ワンタッチON/OFF式の真空吸着型ベースです。　保持力：3.2kgf （標準真空ポンプ、プラティン使用時）　型式例：XYZ150-EL-F-Vac	XYZ150-EL-Vac

水平・垂直方向の固定位置を移動させることができるスペーサ
をはじめ、各種ご用意しております。
　・多穴ホルダー（S-TH）
　・スパン延長用スペーサ（S-SE-30/50)
　・２連実装用スペーサ（S-IP-D、A-Mg-D)

多穴ホルダー装着例

●型式選定表

＜例＞
XYZ150-ER（ノブが右、マグネット標準タイプ（フェライト））
XYZ150-EL-NMg　（ノブが左、マグネット強力タイプ(Nd磁石)）

●カタログ