ESSTech ケルビンプローブ (ESST Kelvin Probes)

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ケルビンプローブ (Kelvin Probe)
４線式プローブ (Micro 4-wire probe)

●概要

針交換式の同時２点接触をピッチ可変で手軽に行うためのセットです。
微細領域において４線方式測定やRF帯の電力印加が可能となります。


(1) AS-K型セット	(2) ポジショナー２連実装	(3) 他の構成例
ポジショナー１台で２本同時の針立ておよび針先位置の微調整ができます。	ポジショナー2台を同一台座に固定し最も精密な2線の針立てが可能です。	ポジショナー前面の絶縁板のみを交換し２本のアームを単純に固定する方法です。

マニュアルポジショナー（XYZシリーズ）への取付は下記をご参照ください。

(1) AS-K型セット

ヘッド部		ヘッド部		ヘッド部

XYZ100 実装例	XYZ150 実施例	XYZ100 実装例	XYZ150 実装例	XYZ100 実装例	XYZ150 実装例

AS-K-P1		AS-K-P3		AS-K-C6

テストパターンと標準針を用いた分解能評価 10μm程度のピッチまで針先調整ができます。

・セットの構成


型式	構成	数量	本体外観	備考（仕様）
AS-K-P1	・可変ﾋﾟｯﾁ式ｹﾙﾋﾞﾝﾍｯﾄﾞ［ｵｰﾌﾟﾝ型］ (A-K-P)	1		微動範囲［片側］：XYZ各軸 ±1.5mm
	・ｵｰﾌﾟﾝｱｰﾑ (A-OH)、標準針（N-W-0L）	2		.
	・高さ調整用ｽﾍﾟｰｻ (S-TH)、調整用工具	一式		高さ調整用ｽﾍﾟｰｻ（標準ｻｲｽﾞ）
	・中継ｹｰﾌﾞﾙ（2本）	一式		ｹｰﾌﾞﾙ：BNC(P)-丸ﾋﾟﾝ [Z=50Ω、L=0.5m]
AS-K-P3	・可変ﾋﾟｯﾁ式ｹﾙﾋﾞﾝﾍｯﾄﾞ［ｵｰﾌﾟﾝ型］ (A-K-P)	1		微動範囲［片側］：XYZ各軸 ±1.5mm
	・ｵｰﾌﾟﾝｱｰﾑ (A-OH-30)、標準針（N-W-0L）	1		.
	・高さ調整用ｽﾍﾟｰｻ (S-TH)、調整用工具	一式		高さ調整用ｽﾍﾟｰｻ（標準ｻｲｽﾞ）
	・中継ｹｰﾌﾞﾙ（2本）	一式		ｹｰﾌﾞﾙ：BNC(P)-丸ﾋﾟﾝ [Z=50Ω、L=0.5m]
AS-K-C6	・可変ﾋﾟｯﾁ式ｹﾙﾋﾞﾝﾍｯﾄﾞ［同軸型］ (A-K-C)	1		微動範囲［片側］：XYZ各軸 ±1.5mm
	・同軸ｱｰﾑ (A-C-6-BL/BR)、標準針（N-W-0S）×2	一式		.
	・高さ調整用ｽﾍﾟｰｻ (S-TH)、調整用工具	一式		高さ調整用ｽﾍﾟｰｻ（標準ｻｲｽﾞ）
	・標準接続ｹｰﾌﾞﾙ（CA-CL-N-0.5） ×2本	一式		ｹｰﾌﾞﾙ：BNC(P)-SMA(LP) [Z=50Ω、L=0.5m]
AS-CRP-C1	ポジショナー固定用SMAコネクタ中継パネル	1		.
AS-CRP-C1	・中継ｹｰﾌﾞﾙ（CA-CL-M-0.1） ×2本	一式		ｹｰﾌﾞﾙ：SMA(J)-SMA(LP) [Z=50Ω、L=0.1m]

(2) ポジショナー2連実装

2台のポジショナーを同時搭載できる専用の ON/OFF式のマグネットベースを使用します。

A-OMg-D
実施例

XYZ100-EL/ER + AS-P3 S-TH　, A-OMg-D	XYZ100-EL/ER + AS-C1 S-TH　, A-OMg-D	XYZ150-EL/ER + AS-C1 S-TH　,A-GB, A-OMg-D

超微細SUS針（先端半径 <0.2μm）を用いた先端部分の写真。 XYZ150-F型で5μm以下のピッチまで針先の調整ができます。

(3) 他の構成例

アーム2連実装
１台のポジショナーに、同時に2本のオープン（同軸）アームを固定できます。 POGOピン使用など、目視による位置決めでも十分な場合に用いられます。

S-IP-D

実施例

XYZ100-EL + S-IP-D AS-P1 + PP-1R		SP-0-2Ls XYZ100-EL/ER + S-IP-D +AS-P1

旧セット（生産中止）

AS-K1、AS-K2

※旧清田製作所（東京都北区）のライセンス生産品（関連知財整備中）

●外形寸法図 (単位：mm)

（準備中）

●カタログ

　

（準備中）

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