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ケルビンプローブ (Kelvin Probe)
4線式プローブ (Micro 4-wire probe)





●概 要

同時2点式接触をピッチ可変で行える針交換式のヘッドセットです。
微細領域での4線方式測定やRF帯の電力印加が可能となります。



AS-K XYZ150 twin S-IP-D
(1) AS-K型セット (2) ポジショナー2連実装 (3) 他の構成例
ポジショナー1台で2本同時の針立て
および針先位置の微調整ができます。
ポジショナー2台を同一台座に固定し
最も精密な2線の針立てが可能です。
ポジショナー前面の絶縁板のみを交換し
2本のアームを単純に固定する方法です。


(1) AS-K型セット

オープンアーム型 同軸アーム型 ディバイド型
AS-K-P1 Head
AS-K-P1 ヘッド部
AS-K-P3 Head
AS-K-P3 ヘッド部
AS-K-C6 Head
AS-K-C6 ヘッド部
AS-K-D3 Head
AS-K-D3 ヘッド部
XYZ100 + AS-K-P1XYZ100 + AS-K-P1
XYZ100-ER + AS-K-P3XYZ100-ER + AS-K-P3
XYZ100-ER + AS-K-C4XYZ100-ER + AS-K-C4
XYZ160-L + AS-K-D3XYZ160-L + AS-K-D3
XYZ100/150 実装例
XYZ100/150 実装例
XYZ160 実装例
AS-K-P1
AS-K-P3
AS-K-C6
AS-K-D3
 
AS-K-P3_N-W-0L
AS-K-P3_N-W-4
テストパターンと標準針を用いた分解能評価
10μm程度のピッチまで針先調整ができます。

 


・セットの構成
         
型式
構成
数量
本体外観
備考(仕様)
AS-K-P1
・可変ピッチ式ケルビンヘッド[オープン型] (A-K-P)
1
AS-K-P1 Head
微動範囲[片側]:XYZ各軸 ±1.5mm
・オープンアーム (A-OH)、標準針(N-W-0L) 2式 .
高さ調整用スペーサ (S-TH)、調整用工具 一式 高さ調整用スペーサ(標準サイズ)
・標準接続ケーブル[CA-P-(0.5) ×2本 一式 BNC(P)-丸ピン [Z=50Ω、L=0.5m]
AS-K-P3
・可変ピッチ式ケルビンヘッド[オープン型] (A-K-P)
1
AS-K-P3 Head
微動範囲[片側]:XYZ各軸 ±1.5mm
・オープンアーム (A-OH-30)、標準針(N-W-0L) 一式 .
高さ調整用スペーサ (S-TH)、調整用工具 一式 高さ調整用スペーサ(標準サイズ)
・標準接続ケーブル[CA-P-(0.5)]×2本 一式 BNC(P)-丸ピン [Z=50Ω、L=0.5m]
AS-K-C6
・可変ピッチ式ケルビンヘッド[同軸型] (A-K-C)
1
AS-K-C6 head
微動範囲[片側]:XYZ各軸 ±1.5mm
・同軸アーム (A-C6-BL/BR)×各1、標準針(N-W-0S)×2 一式 左右対称形 各1、計2
高さ調整用スペーサ (S-TH)、調整用工具 一式 高さ調整用スペーサ(標準サイズ)
・標準接続ケーブル(CA-CL-N-0.5) ×2本 一式 BNC(P)-SMA(LP) [Z=50Ω、L=0.5m]
AS-K-D3
※1
・可変ピッチ式ケルビンヘッド[同軸型] (A-K-D-R/L)
1
AS-K-D3 Head
微動範囲[片側]:XYZ各軸 ±1.5mm
・オープンアーム (A-OH-30)、標準針(N-W-0L) 1 .
・同軸アーム (A-C-6)、標準針(N-W-0S)、電極(A-GB) 一式 .
高さ調整用スペーサ (S-TH)、調整用工具 一式 高さ調整用スペーサ(標準サイズ)
・接続ケーブル(CA-P-(0.5) 、CA-CL-N-0.5) 一式 BNC(P)-丸ピン、BNC(P)-SMA(LP)
AS-CRP-C1
ポジショナー固定用コネクタ中継パネル(A-CRP) 1 AS-CRP-C1 ワイヤーガイド全般としても使用できます
・中継ケーブル(CA-CL-M-0.1) ×2本 一式 SMA(J)-SMA(LP) [Z=50Ω、L=0.1m]

[備考]
  ※1 対向させて使用する場合を想定し左右対称型(2種類)をご用意しています。





(2) ポジショナー2連実装
2台のポジショナーを同時搭載できる専用の
ON/OFF式のマグネットベースを使用します。
A-Mg-D
A-OMg-D
実施例
XYZ100 twin
XYZ100 twin
XYZ150 twin
XYZ100-EL/ER + AS-P3
S-TH , A-OMg-D
XYZ100-EL/ER + AS-C1
S-TH , A-OMg-D
XYZ150-EL/ER + AS-C1
S-TH ,A-GB, A-OMg-D
AS-K-P3 dual tip XYZ150-F
超微細SUS針(先端半径 <0.2μm)を用いた先端部分の写真。
XYZ150-F型で5μm以下のピッチまで針先の調整ができます。





(3) 他の構成例
アーム2連実装
1台のポジショナーに、同時に2本のオープン(同軸)アームを固定できます。
POGOピン使用など、目視による位置決めでも十分な場合に用いられます。
S-IP-D
S-IP-D
 
実施例
XYZ100-EL + S-IP-D
AS-P1 + PP-1R
SP-0-2Ls XYZ100-EL/ER
+ S-IP-D +AS-P1


旧セット(生産中止)
AS-K1、AS-K2
AS-Kx XYZ100+AS-Kx
※旧 清田製作所(東京都北区)のライセンス生産品(関連知財整備中)



●外形寸法図 (単位:mm)


(準備中)


●カタログ

 (準備中)



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