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ピッチ可変式ケルビンプローブヘッドに新たにディバイディングタイプを追加しました。 ポジショナー1台で、同軸線路によるシールデッド2線(4線)式測定が可能になります。 |
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(改良型XYZ160型とともに近日発売予定)
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室温回復の高速化、冷却媒体の循環を可能にした新タイプが追加されました New models have been added that enable circulation of cooling media. |
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適切な循環媒体を選べば高低温の連続制御がヒータまたは流体のみで可能となります。 |
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機構部各所に耐熱対策を施し恒温槽による実温度180℃での連続使用や |
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高温化したホットチャック上の試料へも、安定したプロービングが行えるよう配慮しています。
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費用対効果を高めるため、SP-2型の主機構部を分離簡素化したものです A simplified and portable SP-2 type prober. |
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左右のポジショナー台には精密上下機構を実装 標準顕微鏡台や格子定盤へ簡単に固定できます |
最新のAS-K型を左右に配置した例 (微細領域での安定した4線式測定) |
省スペース設計でUSBスコープ |
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