| 室温回復の高速化、冷却媒体の循環を可能にした新タイプが追加されました New models have been added that enable circulation of cooling media. |
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 HCA-2S |
機構部各所に耐熱対策を施し恒温槽による実温度180℃での連続使用や、 |
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高温化したホットチャック上の試料へも、安定したプロービングが行えるよう配慮しています。
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| 費用対効果を高めるため、SP-2型の主機構部を分離簡素化したものです A simplified and portable SP-2 type prober. |
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 SP-2E-3s |
 SP-2E-3a |
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左右のポジショナー台には精密上下機構を実装 標準顕微鏡台や格子定盤へ簡単に固定できます |
最新のAS-K型を左右に配置した例 （微細領域での安定した４線式測定） |
省スペース設計でUSBスコープ |
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適切な循環媒体を選べば、高低温の連続制御がヒータまたは流体のみで可能となります。
旧来のペルチェ方式等における電磁輻射ﾉｲｽﾞや大規模な排熱処理の問題が低減します。