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小型プローバー SP-2型


ESSTech long working dovetail stageESSTech long working dovetail stage
計測器と共に移動が容易です。
主機構部のみの簡易版、
互換性を。
試料台駆動用に独自の高精度
ロングステージを使用しています。


●概 要

軽量化と可搬性を重視しながら、併せて高精度を訴求しました。
走査範囲が広く、6インチサイズの大型試料台にも対応できます。


●仕 様

項　　目 構　　成 標　準　仕　様 備　考
１.デバイスチャック ・ウェ八チャック本体

試料寸法：2/3/4/6 in
材質　　：銅合金 （通電型）
　　　　　　SUS （非通電型）
吸着穴　：1(2in)、3(3in)、4(4/6in)

絶縁型、バイス型ホルダへの交換も可能。
・XY微動台 粗動 　：XY 120〜200mm

微動 　：（オプション）、分解能：10um
　　　　　※X、XY、Z（昇降）

 試料台によりストロークは各々異なります。

ご要望に応じマイクロメータ駆動式を増設可。
・θ微動台

移動量　：360°
分解能　：0.05°

 マイクロメータ駆動。
θ：鉛直軸（Z）回り
２.プローブベース ・ポジショナー2台搭載型
・上下微動台
 移動量　：10［±5］mm（鉛直方向）
分解能　：10um 		左右各１、計2基
３.端子中継パネル ・中継コネクタ
・L型中継パネル
 (BNC絶縁×2個） 左右各2基
４.実体顕微鏡スタンド
SS-30-24.5-2
SS-30-30-2
SS-30-32-2
（各社鏡筒に対応）
フォーカスマウントのポール径で分類。
SP-2E型の場合は主定盤が別途必要です。
●設置寸法、重量 幅440×奥300×高454(mm)、14.7kg（プローバ本体：8.2kg ）　
顕微鏡スタンドを含む本体一式
●価　格 （お手数ですが営業部へご確認ください。）
●補　足
詳細や個別対応の御要望につきましてはお問い合わせください。


●実施例


●簡易型
SP-2E-2s
SP-2E-2a
SP-2E-3s
-
-
-
SP-2E-2s
SP-2E-2a
SP-2E-3s
-
-
-
 

●基本型
-

SP-2-3s SP-2-3a SP-2-4s SP-2-4a SP-2-6s SP-2-6a
3in対応 4in対応 6in対応
 
●各種試料台対応例
- - -
SP-2-(VC-H1-4) SP-2-VH SP-2-SED SP-2-LDB - -
ホットチャック搭載 バイス式ホルダ型 上下発光素子対応型 ｴｯｼﾞｴﾐｯﾀｰ素子評価用 - -

 

改良のため、実機外観は上記写真と若干異なる場合がございます。予め御了承ください。

●オプション（増設）
実体顕微鏡、フォーカスマウント機構、自在マウント、LED照明　
※接眼レンズ、対物レンズの倍率は選択できます。各社取付け対応可能。
●マニュアルポジショナー　XYZ100-ER/EL
微動範囲：12(±6.0)mm
弊社オリジナルの汎用ポジショナーです。
水平方向微動ハンドルの位置で型番が変わります。　-ER：右　-EL：左
※ヘッド（プローブアーム）はついておりませんので、オープンまたは同軸のプローブセットをお買い求めください。		 XYZ100-E
●マニュアルポジショナー　XYZ150-ER/EL
微動範囲：12(±6.0)mm
マイクロメータ駆動式のタイプです。
水平方向微動ハンドルの位置で型番が変わります。　-ER：右　-EL：左
※ヘッド（プローブアーム）はついておりませんので、オープンまたは同軸のプローブセットをお買い求めください。		 XYZ150-E
一般のDC測定全般に好適な標準セットです。
同軸プローブ (Coax. Probes)
微小V-I計測（シールド）、RF測定（Z整合）などに好適です。
　　※プローブニードルは別売です。
同軸プローブ (Coax. Probes)
プローブアームの先につける針です。
材質、針先寸法毎に各種取り揃えております。　
プローブニードル (Probe Needles)
チップ部品から幅60mmの基板まで把持できるバイス型の試料ホルダです。
荷重制限器が組込まれており、微力な把持と強力固定の両方が可能です。

●吸着用真空ポンプセット（PA-125）
試料台を真空吸着固定する際に必要となります。
SPシリーズに最適な最小構成でまとめました。
精密計測に重用するTriax系を主体に、便利な変換系コネクタをご用意しております。
プローバ用アクセサリ

試料台部ウェハチャックの代わりに搭載することができます。
ホットチャック
加吸熱チャック

●型式選定表


●外形寸法図 （単位：ｍｍ）


改訂中


●カタログ

ダウンロード（改訂中：2022年12月26日現在）


お問い合わせ
03-6304-2406
info@esstech.jp
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