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小型プローバー SP-2型
計測器と共に移動ができます。
試料台駆動用に独自の高精度ロングステージを使用しています。
●概 要
軽量化と可搬性を重視しながら、併せて高精度を訴求しました。
走査範囲が広く、6インチサイズの大型試料台にも対応できます。
●仕 様
項 目
構 成
標 準 仕 様
備 考
１.デバイスチャック
・ウェ八チャック本体
試料寸法：3in、4in、6in
材質 ：銅合金（通電型）
SUS（非通電型）
吸着穴 ：3系統(3in)、4系統(4in/6in)
絶縁型、バイス型ホルダへの交換も可能。
・XY微動台
粗動 ：XY 120〜200mm
微動 ：（オプション）、分解能：10um
※X、XY
試料台によりストロークは各々異なります。
ご要望に応じマイクロメータ駆動式を増設可。
・θ微動台
移動量 ：360°
分解能 ：0.05°
マイクロメータ駆動。
θ：鉛直軸（Z）回り
２.プローブベース
・ポジショナー2台搭載型
・上下微動台
移動方向：12mm（垂直方向）
分解能 ：10um
左右各１、計2基
３.端子中継パネル
・中継コネクタ
・L型中継パネル
(BNC/BNC絶縁レセ)×4個
左右各2基
４.実体顕微鏡ユニット
SS-30-SMZ445-2
SS-30-SMZ745-2
SS-30-SZ61-2
（ニコン：SMZ445型）
（ニコン：SMZ745型）
（オリンパス：SZ-61型）
代表的な実装機種となります。
●設置寸法、重量
幅440×奥300×高454(mm)、15.6kg（プローバ本体：8.2kg ）
顕微鏡ユニットを含む本体一式
●価 格
（誠にお手数ですが営業部へご確認ください。）
●補 足
詳細や個別対応の御要望につきましては
お問い合わせ
ください。
●実施例
●基本型
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SP-2-3s
SP-2-3a
SP-2-4s
SP-2-4a
SP-2-6s
SP-2-6a
3in対応
4in対応
6in対応
●各種試料台対応型
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SP-2-(VC-H1-4)
SP-2-VH
SP-2-SED
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ホットチャック搭載
バイス式ホルダ型
上下発光素子対応型
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改良のため、実機外観は上記写真と若干異なる場合がございます。予め御了承ください。
●オプション（増設）
●
実体顕微鏡ユニット／顕微鏡スタンド
実体顕微鏡、フォーカスマウント機構、自在マウント、LED照明
※接眼レンズ、対物レンズの倍率は選択できます。各社取付け対応可能。
●マニュアルポジショナー XYZ100-ER/EL
微動範囲：12(±6.0)mm
弊社オリジナルの汎用ポジショナーです。
水平方向微動ハンドルの位置で型番が変わります。 -ER：右 -EL：左
※ヘッド（プローブアーム）はついておりませんので、オープンまたは同軸のプローブセットをお買い求めください。
●マニュアルポジショナー XYZ150-ER/EL
微動範囲：12(±6.0)mm
マイクロメータ駆動式のタイプです。
水平方向微動ハンドルの位置で型番が変わります。 -ER：右 -EL：左
※ヘッド（プローブアーム）はついておりませんので、オープンまたは同軸のプローブセットをお買い求めください。
●オープンプローブセット AS-P1
一般のDC測定全般に好適な標準セットです。
●同軸プローブセット AS-C1/AS-C2/AS-C3
微小V-I計測（シールド）、RF測定（Z整合）などに好適です。
※プローブニードルは別売です。
●プローブニードル
プローブアームの先につける針です。
材質、針先寸法毎に各種取り揃えております。
●バイス型ホルダ （A-VH-60型）
チップ部品から幅60mmの基板まで把持できるバイス型の試料ホルダです。
荷重制限器が組込まれており、微力な把持と強力固定の両方が可能です。
●吸着用真空ポンプセット（PA-125）
試料台を真空吸着固定する際に必要となります。
SPシリーズに最適な最小構成でまとめました。
●変換ケーブル、コネクター
精密計測に重用するTriax系を主体に、便利な変換系コネクタをご用意しております。
●ホットチャック
、
加吸熱チャック
試料台部ウェハチャックの代わりに搭載することができます。
●型式選定表
●外形寸法図 （単位：ｍｍ）
改訂中
●カタログ
ダウンロード
（改訂中：2022年12月26日現在）
お問い合わせ
03-6304-2406
info@esstech.jp
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