ESST　ホットチャック（VC-H型　／HC型）

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ホットチャック VC-H型／HC型

●概　要

（VC-H型）　　　チャックと同一形状に整形された特殊ヒーターにより、高速で面均一性の良い制御が可能です。

（HC型）　　　　　高効率の内挿型ヒータを組込んだ簡易タイプです。

（SHC・VHC型）　HC型の耐熱限界を高めたシリーズです。

（コントローラーセット）　温調器本体と接続ケーブル類一式をまとめたリーズナブルなセットです。

●仕様

[ 標準　VC-H型 ]


VC-H1-4a（標準型４"対応）		VC-H1-6a（標準型6"対応）

項　　目	仕　様　値							備　　考
型式	VC-H1-4s	VC-H1-4a	VC-H2-4s	VC-H2-4a	VC-H1-6s	VC-H1-6a	VC-H2-6s
試料台ｻｲｽﾞ	4ｲﾝﾁ				6ｲﾝﾁ			真空吸着型、材質：銅合金
温度範囲 ※3	RT～200		RT～350		RT～200		RT～350	単位：℃　連続使用温度　、RT：室温
材質/加工	非磁性合金/精密研削							※鏡面研磨なし
表面処理	なし	耐熱Au	なし	耐熱Au	なし	耐熱Au	なし	※耐熱多層処理
真空吸着穴	4か所							※1
吸着穴数	4							※2
ﾋｰﾀｰ	400W				900W			AC100V/ｾﾗﾐｯｸﾋｰﾀｰ
温度ｾﾝｻｰ	K(C-A)熱電対							JIS C 1610-1981 (ANSI MC 96.1)
安全装置	温度ﾋｭｰｽﾞ（過昇温防止）、電力ﾋｭｰｽﾞ
表面通電電極	なし	SMA(J)	なし	SMA(J)	なし	SMA(J)	なし	※BNC（J）へ変換可
付属品	真空吸着用ﾎｰｽ							φ6mm/4mm耐熱ﾁｭｰﾌﾞ (L=2m)
付属品	断熱継手


補　足	※1　吸着機能は300℃までとなります（標準ポンプ使用時）。 ※2　個別切替可能な穴数。 ※3　連続運転が可能なﾁｬｯｸﾄｯﾌﾟ温度　最新価格や詳細につきましてはお問い合わせください。

[ 簡易式　HC型 ]


HC-2s (2in非通電型）	HCA-2s (2in循環冷却付）	HC-2a (2in通電対応）	HC-3s (3in非通電型）	HC-3a (3"・通電対応）

項　　目	仕　様　値					備　　考
型式	HC-2s	HCA-2s	HC-2a	HC-3s	HC-3a
試料台ｻｲｽﾞ	2ｲﾝﾁ			3ｲﾝﾁ
温度範囲	RT～200					単位：℃　連続使用温度、RT：室温
材質/処理	SUS		銅合金/Au	SUS	銅合金/Au
真空吸着穴	1か所			3か所
ﾋｰﾀｰ電力	AC100V/240W			AC100V/300W
温度ｾﾝｻｰ	K(C-A)熱電対					JIS C 1610-1981 (ANSI MC 96.1)
安全対策	温度／電力ﾋｭｰｽﾞ、過昇温警告ﾏｰｶｰ					高温検知用ﾏｰｶｰ使用
通電電極 ※1	M2	M3	SMA(J)	M2.6	SMA(J)
循環冷却対応		あり
付属品	真空吸着用ﾎｰｽ/断熱継手					φ6mm/4mm耐熱ﾁｭｰﾌﾞ(L=2m)
補　足	※1　チャック部は全機種で電気的に対地絶縁（フロート処理）されています。　最新価格や詳細につきましてはお問い合わせください。

[ 簡易式耐熱強化版 ]


SHC-2s	SHC-2a	VHC-2s

項　　目	仕　様　値				備　　考
型式	SHC-2s	SHC-2a	SHC-3s	VHC-2s
試料台	2ｲﾝﾁ			3ｲﾝﾁ
温度範囲	RT～350			RT～500	単位：℃　連続使用温度，RT：室温
材質/処理	SUS	Fe合金/Au	Fe合金	Ni-Fe合金
真空吸着穴	1か所		3箇所	1箇所
電力	AC100V/240W		AC100V/300W	AC100V/400W
温度ｾﾝｻｰ	K(C-A)熱電対				JIS C 1610-1981 (ANSI MC 96.1)
安全対策	温度ﾋｭｰｽﾞ（過昇温防止）、電力ﾋｭｰｽﾞ
通電電極 ※1	なし	SMA(J)	なし
付属品	真空吸着用ホース/断熱継手
補　足	※1　チャック部分は電気的にフロートの状態で固定されています。

[ 温度コントローラーセット]

TCH-SP-1型
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HC-2a , HC-2S TCU-H-1A/1AX

TCU-H-1A/1AX

ホットチャック制御用　温度コントローラーセット

項　目	仕　様			備　考
肩式	TCH-SP-1	TCU-H-1A	TCU-H-1AX
設定／計測範囲	-49.9～499.9			単位：℃
設定／表示分解能　※1	0.1			単位：℃
検出精度　※2	(TBD)			採用調節計に依存
温度制御方式	PID　SSR連続制御			ｾﾞﾛｸﾛｽ(AC)
外部ｲﾝﾀｰﾌｪｰｽ	なし		RS-485 ※3
付属品	ﾋｰﾀｰ駆動用ｹｰﾌﾞﾙ、温度ｾﾝｻｰ接続用ｹｰﾌﾞﾙ、付属品
補足	※1　K熱電対使用時 ※2　採用PID調整計の仕様・性能に依存 ※3　EIA-485 マルチドロップ対応　　　最新価格や詳細につきましてはお問い合わせください。

●図面


VC-Hx-4	VC-Hx-6

		準備中
HC-2s/HC-2a	SHC-2s/SHC-2a	VHC-2s

●オプション

真空吸着ポンプセット　PA-125

被検素子を真空吸着固定する際に必要となります。

●カタログ

（準備中）

お問い合わせ
		03-6304-2406
		info@esstech.jp
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