（VC-H型） チャックと同一形状に整形されたヒータにより、高速で面均一性の良い制御が可能です。 |
| ●概 要 |
（VC-H型） チャックと同一形状に整形されたヒータにより、高速で面均一性の良い制御が可能です。 |
| ●仕 様 |
| [ 標準 VC-H型 ] |
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|---|---|---|---|
| VC-H1-4（標準型４"対応） | VC-H2-6（標準型6"対応） | ||
| 項 目 | 仕 様 値 | 備 考 | ||||
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型式 |
VC-H1-4 |
VC-H2-4 |
VC-H1-6 |
VC-H2-6
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試料台サイズ |
4インチ |
6インチ |
真空吸着型、材質：銅合金 | |||
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温度範囲 ※2 |
RT〜200 |
RT〜400 |
RT〜200 |
RT〜400
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単位：℃ 連続使用温度 、RT：室温 | |
温度精度 |
コントローラ指示値の±(0.3%+1digit)又は±2℃ の大きい方 |
※弊社標準 温度コントローラ使用時 | ||||
材質／表面加工 |
Fe系合金／精密研削 |
※鏡面研磨なし | ||||
チャック処理 |
金鍍金 |
※厚塗硬質処理 | ||||
真空吸着穴 |
4か所 |
※1 | ||||
真空吸着穴数 |
4 |
※2 | ||||
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ヒータ |
400W
|
900W |
1.1kW |
AC100V/セラミックヒータ | ||
温度センサ |
K(C-A)熱電対 |
JIS C 1610-1981 (ANSI MC 96.1) | ||||
安全装置 |
温度ヒューズ（過昇温防止）、電力ヒューズ |
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| 表面通電電極 |
M2.6タップ |
※ | ||||
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付属品 |
真空吸着用ホース |
φ6mm/4mm耐熱チューブ (L=2m) | ||||
断熱継手 |
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補 足 |
※1 吸着機能は300℃までとなります（標準ポンプ使用時）。 ※2 個別切替可能な穴。 最新価格や詳細につきましてはお問い合わせください。 |
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| [ 簡易式 HC型 ] |
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|---|---|---|---|
| HC-2s (簡易型2"・通電なし） |
HC-2a (簡易型2"・通電あり） |
HC-3s (簡易型3"・通電なし） |
HC-3a (簡易型3"・通電あり） |
| 項 目 | 仕 様 値 | 備 考 | |||
型式 |
HC-2s |
HC-2a |
HC-3s |
HC-3a
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試料台サイズ |
2インチ |
3インチ
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温度範囲 |
RT〜200
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単位：℃ 連続使用温度、RT：室温 | |||
材質 |
SUS304 |
(銅合金） |
SUS304 |
(銅合金） |
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真空吸着穴 ※1 |
1か所 |
1か所 |
3か所 |
3か所 |
※ |
真空吸着切換え端子数 |
なし |
なし |
3 |
3 |
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ヒータ電力 |
AC100V/240W |
AC100V/300W |
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温度センサ |
K(C-A)熱電対 |
JIS C 1610-1981 (ANSI MC 96.1) | |||
安全対策 |
温度／電力ヒューズ、過昇温警告マーカー |
高温検知用マーカー使用 | |||
通電電極 ※2 |
なし |
SMA(F) |
なし |
SMA(F) |
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付属品 |
真空吸着用ホース/断熱継手 |
φ6mm/4mm耐熱チューブ(L=2m) | |||
補 足 |
※1 吸着穴配置はご指定いただくことも可能です。 ※2 BNC(F)コネクタでの出力も可能です。対地絶縁（フロート処理）されています。 最新価格や詳細につきましてはお問い合わせください。 |
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| [ 簡易式 耐熱強化版 ] |
更新中 |
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|---|---|---|
| SHC-2s |
SHC-2a | VHC-2s |
| 項 目 | 仕 様 値 | 備 考 | |||
型式 |
SHC-2s |
SHC-2a |
VHC-2s |
SHC-3s
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試料台サイズ |
2インチ
|
3インチ |
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温度範囲 |
RT〜350
|
RT〜500 |
RT〜350 |
単位：℃ 連続使用温度，RT：室温 | |
電力 |
AC100V/240W |
AC100V/400W |
AC100V/300W |
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安全対策 |
温度ヒューズ（過昇温防止）、電力ヒューズ
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| 付属品 |
真空吸着用ホース/断熱継手 |
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補 足 |
その他の仕様はHC型と同様です。 | ||||
[ 温度コントローラ セット] |
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ホットチャック制御用 温度コントローラセット |
| 項 目 | 仕 様 | 備 考 | ||
| タイプ | TCH-SP-1 |
TCU-H-1A |
TCU-H-1AX |
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| 設定／計測範囲 | -49.9〜499.9 |
単位：℃ | ||
| PID調節計 | TTM-004 |
東邦電子（株）製 | ||
| 設定／表示分解能 ※1 | 0.1 |
単位：℃ | ||
| 検出精度 ※2 | (TBD) |
採用調節計に依存 | ||
| 温度制御方式 | PID SSR連続制御 |
ゼロクロス(AC) | ||
| PCインタフェース | なし
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RS485 ※3 |
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| 付属品 | ヒータ駆動用ケーブル、温度センサ接続用ケーブル、付属品 |
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| 補足 | ※1 K熱電対使用時。 |
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| ●図 面 |
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対応停止 |
|---|---|---|
VC-Hx-4 |
VC-Hx-6 |
VC-Hx-8 |
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準備中 |
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HC-2s/HC-2a |
SHC-2s/SHC-2a |
VHC-2s
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| ●オプション |
| 真空吸着ポンプセット PA-125 |
ウェハチャックを真空吸着固定する際に必要となります。 |
| ●カタログ |
ダウンロード |
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03-6304-2406 | |
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