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●概 要 (Overview) |
DCのシールド式4線測定やRF信号入力を試料台上で行うことができます。 |
●構成例 (Configuration example) |
ポジショナー単独での実施例 Examples of each positioner alone. |
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SP-0-2Ls での使用
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SP-2-4a での使用(2Ch) |
XYZ150-Eへの実装 |
2連実装での実施例 Example in dual mounting. |
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XYZ100-ER + AS-P4 + S-TH , A-GB , N-Au-3S XYZ150-EL + AS-C1 + S-TH , A-OMg-D |
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2連実装用基本ベース |
XYZ150-EL/ER + AS-C1 + S-TH , A-GB , N-Au-3S A-OMg-D |
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GNDブリッジ用電極セット (GND bridge electrode) |
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