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小型プローバー SP-1型



SP-1-3A-XY
SP-1-2a
SP-1-4a-XY


●概 要

ON/OFFマグネット付きの試料台とポジショナー台を
着磁ベース上で自由に配置することができます。

●標準構成及び仕様

項　　目 構　　成 仕　様
備　考
1.試料台 ・真空吸着型チャック

 寸法：2in /3in/ 4in
・材質（標準）　　：SUS（非通電性）
　　　　（通電型）：銅合金（金鍍金）
通電性能　　　：対地絶縁（フロート）

 
・ON/OFFマグネットベース 着磁力20kgf
・増設用微動ステージ XY〜XYZθ（４軸）まで各種 （ご用途に応じ個別に
最適化対応いたします。）
２．プローブベース ・搭載用ベース

 着磁板（150mm×110mm）
標準ポジショナ2台搭載可		 左右各1基、計２基。
・ON/OFFマグネットベース 着磁力25kgf
・中継端子パネル (BNC/BNC絶縁レセ)×2個　最大4個
３．設置用プレート ・着磁性研磨板（Ni化粧処理）　 幅400×奥150mm
 着磁ベースがない場合の
設置用研磨定盤です。
●設置寸法、重量 幅400×奥200×高250 (mm) ※XYZ-100E搭載時
約4.8kg　　※簡易定盤を含む最大総重量
●価　格
お問い合わせください
●補　足
　　その他、詳細仕様や御要望につきましては お問い合わせください。


［標準構成品］

1. 基本試料台（ウェハチャック）
SP-1 SP-1 SP-1
SP-1 SP-1 SP-1
非通電型
 通電型 非通電型
 通電型 非通電型
 通電型
2in 3in 4in
※上記引用写真は代表例です。実機外観や細部は異なる場合があります。

2. プローブベース 3. 設置用プレート
SP-1
高さや前後位置を変えることもできます。 着磁系の鉄系定盤類がない場合に使用します。
※上記引用写真は代表例です。実機外観や細部は異なる場合があります。

●オプション（増設）

●通電対応　a

通電タイプは、二重絶縁されAuメッキが施されます。
吸着穴径や配置は試料の状況に応じ個別加工もいたします。
＜型式＞
　ｓ：試料台部非通電タイプ　　ex. : "SP-1-2s"
　　　（SUS材）
　a：試料台部通電タイプ　　ex. : "SP-1-3a"
　　　（銅合金）
SP-1-3A-XY
通電タイプ　2インチ
通電タイプ　3インチ

弊社オリジナルの汎用ポジショナーです。
※ヘッド（プローブアーム）はついておりませんので、オープンまたは同軸のプローブセットをお買い求めください。
XYZ100-E

マイクロメータ駆動式のタイプです。
※ヘッド（プローブアーム）はついておりませんので、オープンまたは同軸のプローブセットをお買い求めください。
XYZ150-E

一般のDC測定全般に好適な標準セットです。
同軸プローブ (Coax. Probes)
微小V-I計測（シールド）、RF測定（Z整合）などに好適です。
　　※プローブニードルは別売です。
同軸プローブ (Coax. Probes)
プローブアームの先につける針です。
材質、針先寸法毎に各種取り揃えております。　
プローブニードル (Probe Needles)

スペーサを取り付けることで、プローブ位置を大きく移動させることができます。
チップ部品から幅60mmの基板まで把持できるバイス型の試料ホルダです。
荷重制限器が組込まれており、微力な把持と強力固定の両方が可能です。


試料台を真空吸着固定する際に必要となります。
SPシリーズに最適な最小構成でまとめました。

精密計測に重用するTriax系を主体に、便利な変換系コネクタをご用意しております。
プローバ用アクセサリ

試料台部ウェハチャックの代わりに搭載することができます。
ホットチャック
加吸熱チャック
実体顕微鏡、自在マウント、固定ベースの組み合わせが自由に選べます。　
※部品変更のみで各社の実体顕微鏡が取付け可能です。		  


●型式選定表（標準セット）
SP-1
＜例＞
SP−1-4a（ウェハチャックサイズ4インチ、裏面通電あり）
SP-1-2s-NB（ウェハチャックサイズ2インチ、裏面通電なし、設置用プレートなし）

●外形寸法図 （単位：ｍｍ）



※代表例です。


●カタログ



ダウンロード（更新中：2022年6月20日）



お問い合わせ
03-6304-2406
info@esstech.jp
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