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小型プローバ SP-3型


高倍顕微鏡搭載例
高温チャック搭載例
 
SP-3-4a(SMZ)




●概 要

一般的なプローバの諸機能を踏襲した、SPシリーズのハイエンド機です。


●仕 様


本機は個別対応色が強いため、詳細につきましてはお問い合わせください。



●オプション(増設)

●マニュアルポジショナ(小型) XYZ100-ER/EL
微動範囲:12(±6.0)mm
弊社オリジナルの汎用ポジショナです。
XYZ100-E


●マニュアルポジショナ(小型) XYZ150-ER/EL
微動範囲:12(±6.0)mm
マイクロメータ駆動式のタイプです。
XYZ150-E


標準針を手軽に交換でき、一般のDC測定にも好適です。


微小V-I計測(シールド)、RF測定(Z整合)などに好適です。
  ※プローブニードルは別売です。


●プローブニードル 
材質、針先寸法毎に各種取り揃えております。 



●吸着用真空ポンプセット(PA-125)
ウェハを真空吸着固定する際に必要となります。




お問い合わせ
03-6304-2406
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