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マニュアルプローバ
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小型プローバ SP-3型
高倍顕微鏡搭載例
高温チャック搭載例
SP-3-4a(SMZ)
●概 要
一般的なプローバの諸機能を踏襲した、SPシリーズのハイエンド機です。
カム機構による多段階のクイック上下機構にもオプションで対応いたします。
●仕 様
営業部あてお問い合わせください
●オプション(増設)
●マニュアルポジショナ(小型) XYZ100-ER/EL
微動範囲:12(±6.0)mm
弊社オリジナルの汎用ポジショナです。
●マニュアルポジショナ(小型) XYZ150-ER/EL
微動範囲:12(±6.0)mm
マイクロメータ駆動式のタイプです。
●オープンプローブセット AS-P1
標準針を手軽に交換でき、一般のDC測定にも好適です。
●同軸プローブセット AS-C1/AS-C2/AS-C3
微小V-I計測(シールド)、RF測定(Z整合)などに好適です。
※プローブニードルは別売です。
●プローブニードル
材質、針先寸法毎に各種取り揃えております。
●吸着用真空ポンプセット(PA-125)
ウェハを真空吸着固定する際に必要となります。
●型式選定表
準備中
●外形寸法図 (単位:mm)
準備中
●カタログ
準備中
お問い合わせ
03-6304-2406
info@esstech.jp
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