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LN2クライオスタット付真空プローバ
CA-01型


CA-01型


●概　要

アルミ製真空チャンバにプローバを増設し、液体窒素を用いた高効率 クライオスタット
により極低温での4端子通電測定を可能としています。
測定温度範囲のは-150℃〜+100℃(123K〜373K)で、真空状態で外部操作型ポジショナ
による針先移動ができます。構造的にシールド性に優れ、4線コンタクトによるI-V/C-V特性
やインピーダンス測定に最適です。


●仕　様

項　目 仕　様
デバイスチャック部 温度範囲　　　：CA-01→-180℃〜200℃（93〜473K）
器内真空度　　：10Pa(10-1Torr) 　※ロータリポンプ単体
　　　　　　　　10-3Pa(10-5Torr)　※ロータリーポンプ+ターボ分子ポンプ
材質　　　　　：アルミニュウム
真空吸引口　　：NW25　クランプ継手
試料寸法　　　：10mm×10mm（試料台寸法φ40mm)
チャンバー寸法：φ116×(高さ)30mm
全体寸法　　　：120×260×68（ゴム足を含む）
付属品　　　　：窓遮光蓋
マイクロプローバ部 探針　　　　　：タングステン針（φ0.5mm／先端半径各種)
探針移動量　　：:X軸5mm Y軸5mm Z軸3mm
寸法　　　　　：58×160×61mm
重量　　　　　：2.3kg
温度コントローラ部

温度範囲　　　：-200〜+300℃
設定分解能　　：0.1℃
設定精度　　　：±0.5℃、安定時±0.1℃
スロープ機能　：0.1℃〜300℃、降温0.1℃〜300℃
温度検出器　　：熱電対JIS.K、JIS.T
プログラム　　：マルチメモリアル機能によるプログラムコントロール
外部入出力　　：RS-232C
低温寒剤排気系：LN2流量バルブ

過昇温ヒータカット機構（ヒータ出力をカットする温度を設定できます）
その他　　　　：AN2排気フローメータ／ガスカーテン調整バルブ


※1　標準ポジショナ一台につきニードル(H-20242-W)が各々１本付属します。
※2　探針は金針等各種取り揃えています。オプションをご参照ください。

 



●オプション

実体顕微鏡部
実体顕微鏡本体
接眼レンズ
LED照明
フォーカスユニット

顕微鏡架台
BNC中継コネクタパネル付き台座
顕微鏡自在架一式

LN2制御系
デュワー：20リットル
加圧サイフォン
精密減圧弁
液体窒素
排気用耐寒チューブ
液体窒素トランスファチューブ

真空排気系
2段ロータリーポンプ
ターボ分子ポンプ
真空ゲージ
各種バルブ/真空リング/継手
真空排気用フレキチューブ
ガスパージ用バルブ/チューブ

設置用簡易テーブル台
700×1000×750

（真空排気系）

標準排気用ロータリーポンプです。
オートリークバルブが付属します。
高真空を必要とする試料の場合には
ターボ分子ポンプを併用いたします。		 （顕微鏡架台部)

各社の実体顕微鏡に対応しています。
すでにお持ちの顕微鏡がある場合は、
再利用にも応じさせていただきます。
変換用コネクタパネルが付属します。

●システム外観図　


※仕様数値と同等な性能を得る為、弊社標準オプションを採用されることを推奨いたします。

●カタログ

申し訳有りません。準備中です。


お問い合わせ
03-6304-2406
info@esstech.jp
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