可能な限りシンプルに構成した
6〜12インチ対応の大型試料向けプローブステーションです。
軽量化と高剛性、位置決め精度の両立および自動化への移行の容易性を訴求しております。 |
| MP-01-8 |
MP-01-10 |
MP-01-12 |
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8インチ（200×200mm） |
10インチ（260×260) |
12インチ（300×300) |
| 室温 |
| 室温〜最大300℃ |
| -40℃〜200℃ |
| 大形マイクロポジショナ
４台 |
| 小型マイクロポジショナ
６台 |
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8インチ（200×200mm） |
ストローク260mm |
ストローク350mm |
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ストローク10mm／分解能0.01mm |
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回転範囲 360°／分解能0.05° |
| 調整範囲 ：±3° |
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微動12mm |
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２段クイック上下保持機能（1mm/8mm） |
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4/6/8" 標準型ウェハチャック |
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（各種サイズ，形状で製作実績ございます） |
| SMZ（ニコン）またはSZ（オリンパス）系実体顕微鏡 |
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金属顕微状、解析顕微鏡 |
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( 0.7〜4× ) |
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10×（標準） |
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自在アーム固定フォーカスマウント |
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LEDリングライト |
幅520mm×奥500mm |
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38kg（顕微鏡含む） |
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吸着用真空ポンプ(一式） |
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営業部にお問い合わせください |
微動範囲：12(±6)mm
弊社オリジナルのハイコストパフォーマンス汎用ポジショナです。
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微動範囲：12(±6)mm
マイクロが付いているタイプです。
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| 標準針を手軽に交換でき、一般のDC測定にも好適です。 |
微小電流、高周波測定、RF測定（Z整合）に好適です。
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高低温チャック、高温チャックは各種製作実績がございます。
また、試料に応じた吸着穴寸法や試料台の変更等も承っております。 |
テーブル付防振台座はじめ遮光暗幕／クリーンブースから電磁シールドカバーまで
実績品がございます。 |
20ｍｍ□を標準とし、小型サイズの精密品をメインにお取り扱いしております。
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・ドライエア発生ユニット
・簡易ガスチャンバ
・各種計測器への接続対応など
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準備中
準備中
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